熱式質量流量計(控製器)使用中注意事項

(1)儀表使用時（shí）,使用環境應滿足說明書中規定的環境條件和使用攏術（shù）規定,流ZUI大值應在所選儀表程的規（guī）定範圍（wéi）內。

(2)為了保證 MFM/MFC可緣工作和維護使（shǐ）用方便,儀表使用時（shí）應配套安裝適當截止、過濾器,幹燥（zào）器、單向、減壓器和背壓等。

(3)由於該儀表容易發生堵塞現象,所以使用中要經常啟用“清洗”過程和定期清洗配套過濾器。

(4)使用中進行“清洗”操作時,“清洗”結東,不要直接轉入“閥（fá）控（kòng）”位,應先（xiān）置（zhì）於“關閉位覺,然後,再轉至“控”位。

(5)對（duì）於反應係統,建議在 MFM/MFC入口處加裝過濾器,出口端加裝單向（xiàng）層,以防止異常情況發生時,液體反應物倒（dǎo）流至儀表內使其損壞。

(6)對於常壓係統,一（yī）般選擇減壓器和（hé）過濾器與其配套（tào）,以便保證儀表可運行和控精度。

(7)對於（yú）高壓係統,應在 MFM//MFC的上（shàng）遊加裝減壓閥、過濾（lǜ）器,下遊加裝背壓閿(或其他節流裝)及壓力表（biǎo）,以便保證 MFM/MFC應有（yǒu）的工作壓差。

(8)對於矽烷這樣的遇空氣易形成結晶的氣體,應特別注意係統的密閉性(檢漏時,不要忽（hū）視減壓器),必要時設計上吹洗旁路,以便進行（háng）氮氣吹洗或（huò）正壓保待。

(9)對有高頻源的係（xì）統,應注意屏慧,並做好（hǎo）接地,一般選擇單點接地為宜。

(10)對（duì）於高（gāo）真空係統,應盡量減少氣略接頭（tóu）,對須有的接頭,要嚴格密封或采用VCR等接（jiē）頭

(11)對於 MFM/MFC的安裝位置,應盡景（jǐng）選擇水平位置、並且安裝麵要水平（píng）、安裝位置要易於裝卸、檢、調零。安裝時（shí）要盡量避免受到撞擊（jī）,安裝固定要（yào）安全可靠。

(12)使用中,如果工（gōng）藝係統複（fù）雜（zá）或使用特殊氣體,儀表（biǎo）的測控係統啟用應（yīng）建立專用的操（cāo）作（zuò）規程。

(13)使用（yòng）中若發現儀表零（líng）點（diǎn）偏移時、可通過外罩上的調零孔調整,也（yě）可揭開外罩（zhào）調整,但量程調整電（diàn）位器不得輕易調整（zhěng）。

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